【CN201910720478.4】用于檢測機械壓力機中的故障的設備和方法

【CN201910720478.4】用于檢測機械壓力機中的故障的設備和方法 標題：用于檢測機械壓力機中的故障的設備和方法 申請?zhí)枺篊N201910720478.4 申請人：先進科技新加坡有限公司 申請日：2019-8-6 專利類型：發(fā)明申請 本發(fā)明提供了一種用于檢測用于沖壓半導體元件的壓力機中的故障的設備和方法，其中所述方法包括以下步驟：將半導體元件定位在所述壓力機中所包括的第一模具組部分與第二模具組部分之間；以及使所述第一模具組部分和所述第二模具組部分相對于彼此移動，以沖壓位于其間的所述半導體元件。所述方法進一步包括以下步驟：在沖壓所述半導體元件的同時，當所述第一模具組部分相對于所述第二模具組部分移動時，用附接到所述第一模具組部分和/或所述第二模具組部分的傳感器來監(jiān)控在所述第一模具組部分的不同位置處的參數(shù)；以及比較所述第一模具組部分相對于所述第二模具組部分的不同位置處的所述參數(shù)的當前變化與當沖壓所述半導體元件的同時不存在故障時，在所述壓力機的正常操作期間所述第一模具組部分相對于所述第二模具組部分的位置處的所述參數(shù)的預期變化。所述方法還包括以下步驟：當所述參數(shù)的所述當前變化不同于所述參數(shù)的所述預期變化時，確定所述壓力機中已發(fā)生故障。